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Die Schraubenvakuumpumpe nutzt den durch die Schnecke und den Pumpenhohlraum gebildeten Raum als Pumpenhohlraum, um die Gasabsaugung und den Gastransport zu ermöglichen. Es ist unterteilt in Ölschraubenpumpen und ölfreie Schraubenpumpen, Doppelschrauben-Vakuumpumpen und Einschrauben-Vakuumpumpen.
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